国家知识产权局信息数据显现,西安奕斯伟资料科技股份有限公司和西安奕斯伟硅片技能有限公司请求一项名为“校准体系及校准办法”的专利,揭露号CN121666003A,请求日期为2025年10月。
专利摘要显现,本揭露触及校准体系及校准办法。在一方面中,供给了一种校准体系,包含:可移动的工作台;调整片,可拆卸地设置于工作台,该调整片包含感光区和至少一个光引导部,感光区坐落调整片的中心并用于与来自光源的光束进行交互,光引导部从感光区朝向调整片的边缘延伸;至少一个传感器,设置于边缘外,以感测经由至少一个光引导部传输的光的强度;操控器,操控工作台沿榜首轴线移动以及沿与榜首轴线正交的第二轴线移动,并根据与从至少一个传感器接纳的信号的峰值强度相对应的工作台的方位,确认榜首轴线和所述第二轴线的中心坐标。由此,可进步工作台的中心定位的精度,并由此进步晶圆的检测精度。
天眼查资料显现,西安奕斯伟资料科技股份有限公司,成立于2016年,坐落西安市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。经过天眼查大数据分析,西安奕斯伟资料科技股份有限公司共对外出资了7家企业,参加招投标项目11次,专利信息1531条,此外企业还具有行政许可24个。
西安奕斯伟硅片技能有限公司,成立于2018年,坐落西安市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本660000万人民币。经过天眼查大数据分析,西安奕斯伟硅片技能有限公司参加招投标项目380次,专利信息1045条,此外企业还具有行政许可54个。
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